特種氣體除了應用于太陽能電池、集成電路制造等，還可以應用于液晶顯示器、光纖，下面東方工業氣體就為大家介紹一下特種氣體是怎么應用于液晶顯示器、光纖的。

　　一、液晶顯示器

　　1、TFT/LCD的應用

　　TFT (薄膜晶體管) / LCD (液晶顯示器) 的每個像素點都是由集成在自身上的TFT來控制，是有源像素點。因此, 其具有體積小、重量輕、低輻射、低耗電量、全彩化、速度快、對比度和亮度高、屏幕觀察角度大、分辨率高等優點, 是目前主流的平面顯示設備。

　　2、TFT/LCD生產工藝和氣體應用

　　TFT/LCD的生產包括TFT陣列(包括薄膜、光刻、刻蝕) 、彩色濾光片(包括黑矩陣膜、紅綠藍膜、透明導電層) 、面板、模組等工序。薄膜工序, 通過化學氣相沉積, 在玻璃基板上沉積SiO2、SiNx、a2Si、n 型a2Si薄膜。使用的特種氣體有SiH4、PH3、NH3、NF3 等。干法刻蝕工序, 在等離子氣態氛圍中選擇性腐蝕基材。通常采用SF6、HCl、Cl2 等氣體。

　　二、光纖

　　光纖是當前信息傳輸中無可替代的傳輸介質，全球80%以上信息量通過光纖傳輸。光纖的主要成分是SiO2。從目前制造光纖的工藝來看, 其主要原材料是SiCl4。當然根據光纖的品種不同, 類型不同, 芯層摻雜微量元素的比例和成分也會不同。而芯層摻雜的不同決定著光纖的特性。根據國際電信聯盟( ITU) 的相關規定, 光纖的種類主要分為多模光纖(G1651光纖, 主要運用于局域網的傳輸) 、單模光纖( G1652 主要運用于城域網、局域網和長途干線的傳輸) 、色散位移單模光纖(G1653) 和截止波長單模光纖(G1654) 、非零色散位移單模光纖(G1655 /G1656, 主要用于長途干線) 。

　　光纖預制棒的生產工藝和氣體應用通信用光纖大多數是由石英材料組成的。光纖制造過程包括光纖預制棒制備、光纖拉絲等步驟。

　　目前, 光纖預制棒制備Z常用的是兩步法: 一是采用氣相沉積工藝, 如外部氣相沉積法(OVD) 、軸向氣相沉積法(VAD) 、改進的化學氣相沉積法(MCVD) 、等離子化學氣相沉積法( PCVD) 等,來生產光纖預制棒的芯棒(Core2rod) ; 第二步是在氣相沉積工藝獲得芯棒的基礎上加入外包層(Over2cladding) , 制成光纖預制棒。

　　化學氣相沉積的核心反應是SiCl4 和GeCl4 在氫、氧火焰環境下, 水解生成SiO2 和GeO2 粉塵( SOOT) 。其中SiCl4、GeCl4 需要加熱, 用蒸氣或氬氣攜帶的方式送入反應室。常用的其它特氣還有CH4、CF4、Cl2、SF6 等。

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